3．预烘（Pre-curing） 预烘是指通过加温干燥使液态光致抗蚀剂膜面达到干燥，以方便底片接触曝光显影制作出图形。此工序 …

7# J" }# B$ s" @9 D2 r0 N(2) 预烘 (pre bake) , W4 v7 b) d4 G F! c6 y; X 因为涂敷好的光刻胶中含有溶剂，所以要在 80C 左右 …

...，应先进行「盲烘」(blind-baking)或「预烘」(pre-baking)外壳的过程，而面团本身可以是甜的，也可以不是甜的。