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    https://www.zhihu.com/question/362403309

    ASML光刻机的对准原理是什么？ - 知乎

  2. chipmanufacturing.org
    http://www.chipmanufacturing.org/h-nd-356.html

    【litho】光刻工艺中常见的对准技术 - 芯制造

  3. keyence.com.cn
    https://www.keyence.com.cn/ss/products/vision/visionbasics/use/...

    定位/对准｜图像传感器的应用｜视觉系统 | 基恩士中国官方网站

  4. zhihu.com
    https://zhuanlan.zhihu.com/p/676830491

    3D光学显微镜光学系统的景深 - 知乎 - 知乎专栏

  5. cchip.cn
    http://cchip.cn/uploads/file1/20211021/6171239607456.pdf
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    Cchip-0019 光刻机 用户使用手册

  6. leica-microsystems.com.cn
    https://www.leica-microsystems.com.cn/cn/science-lab/basics-in...

    偏振光显微观察 | 显微镜知识库 | 徕卡显微系统

  7. cepem.com.cn
    http://www.cepem.com.cn/paper/detail/27

    光刻机视像自动对准系统的开发

  8. sohu.com
    https://www.sohu.com/a/308706558_120133599

    「视界」光刻机的对准系统_掩模 - 搜狐

  9. edmundoptics.cn
    https://www.edmundoptics.cn/knowledge-center/application-notes/...

    了解显微镜和物镜 | 爱特蒙特光学 - Edmund Optics

  10. chipmanufacturing.org
    http://www.chipmanufacturing.org/h-nd-225.html

    对准标识 Alignment Marks - Chip Manufacturing