Minienvironments

  • Web微环境;迷你洁净环境;微控环境
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微环境
IEST的建议准则工作小组目前进展 -... ... Minienvironments( 微环境)。 Testing Cleanrooms( 洁净室之测试)。 ...
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迷你洁净环境
 迷你洁净环境(minienvironments)、完整的微粒和化学过滤系统、紧密的环境监测、关键微影步骤的吹净(purge)过程,上述的结合能让晶 …
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微控环境
尽管微控环境(minienvironments)原预定用於300mm晶圆的生产系统上,此项技术却已逐渐使用在新的200mm晶圆厂。藉由经验丰富的污 …
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